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发明名称 VERFAHREN ZUM DIFFUNDIEREN VON N-STOERSTELLEN IN AIII-BV-VERBINDUNGSHALBLEITER
摘要
申请公布号 DE4139159(A1) 申请公布日期 1992.06.04
申请号 DE19914139159 申请日期 1991.11.28
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ARIMOTO, SATOSHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 C30B31/02;H01L21/18;H01L21/225 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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