| 摘要 |
一种矽单晶直径之控制方法，在提制一相对于坩埚旋转之矽单晶制造过程中，将该提制单晶为光学装置所测得之一直径测量值与一所希望之直径值做比较，以决定偏差值，将此偏差值付诸一不完全微分PID处理或史密斯法处理，以计算出提制率，将此提制率加至一晶体提制装置的马达控制器，而完成此种以控制提制率方式来达成控制提制单晶直径之目的。一种矽单晶直径控制装置，该装置包括：接收提制单晶为光学装置测得之直径测量值的输入装置；不完全微分PID计算装置，该计算装置在每单位转的周期时间内，将该提制单晶之直径测量值与一所希望之直径值做多次比较，以计算出提制率；以及一可将该提制率加至一晶体提制装置之马达控制器的输出装置。 |
