昇华性物质真空蒸镀装置

摘要

本案之昇华性物质真空蒸镀（ vacuum evaporation ）装置，系于以石墨为材料所形成之收纳容器１０４，将蒸镀材料１００加以包围，于收纳容器１０４之上部安设被感应加热体１０３，并于该加热体１０３设小狭缝状之喷嘴部１０７，沿着行走基板１０１之宽度方向将喷嘴部１０７施予定位，令蒸发之蒸镀材料１００通过该喷嘴部１０７，使蒸镀材料１００在行走基板１０１之宽度方向施予均匀地蒸镀者。