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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04158622(A) 申请公布日期 1992.06.01
申请号 JP19900284882 申请日期 1990.10.23
申请人 NEC CORP 发明人 KANAMORI KIMINORI
分类号 G01R31/28;G05F1/10;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;H03K17/08 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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