| 发明名称 |
CONVEYING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04158546(A) |
申请公布日期 |
1992.06.01 |
| 申请号 |
JP19900285455 |
申请日期 |
1990.10.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
WATANABE HIROSHI;KOMINATO YOSHIHITO |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/02;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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