发明名称 METHOD OF FABRICATING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR920004174(B1) 申请公布日期 1992.05.30
申请号 KR19880015291 申请日期 1988.11.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 SEKIKAWA, SHINJI;HAYASAKA, KATSHIROSHI;HUZINUMA, KINGYU;KUBODA, DETSYA;TAKETA, KATSUO;IDOH, NOBUO
分类号 H01L21/265;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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