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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04157730(A) 申请公布日期 1992.05.29
申请号 JP19900283170 申请日期 1990.10.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MURASE ISAO
分类号 H01L21/306;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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