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发明名称 VACUUM BEARING
摘要
申请公布号 JPH04157209(A) 申请公布日期 1992.05.29
申请号 JP19900278161 申请日期 1990.10.17
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ASAISHI TAKASHI;YAMAKAWA HIROYUKI;KOIKE TOSHIO
分类号 F16C33/32;F16C33/44;F16C33/62 主分类号 F16C33/32
代理机构 代理人
主权项
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