| 摘要 |
L'invention concerne un procédé de transfert d'images topologiques dans lequel on recouvre d'une couche (3) de résine sensible PBS une couche (2) d'oxyde de chrome déposée à la surface d'un substrat (1), on sensibilise la couche de résine par application d'un faisceau d'électrons (4) sur une zone (Z) dont le contour est conforme à celui de l'image à transférer, on élimine à l'aide d'un solvant de développement la résine sensibilisée dans ladite zone et on procède à un rinçage, puis on ôte par gravure l'oxyde de chrome ainsi découvert localement, après quoi on élimine le reste de résine non sensibilisée. On utilise, aussi bien comme solvant de développement que comme solvant de rinçage, un mélange de monoéthyl-éther de l'éthylène glycol (produit A) et d'acétate d'isoamyle (produit B), le produit A étant minoritaire dans le solvant de développement et majoritaire dans le solvant de rinçage, tandis que c'est l'inverse pour le produit B. |
