| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04157737(A) |
申请公布日期 |
1992.05.29 |
| 申请号 |
JP19900281821 |
申请日期 |
1990.10.22 |
| 申请人 |
NIPPON MINING CO LTD |
发明人 |
YOKOHATA AKIHITO;KODAMA ATSUSHI;KATO SHINICHI |
| 分类号 |
H01L21/52;H01L29/864;H01L47/02 |
主分类号 |
H01L21/52 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
