发明名称 METHOD OF SIMULTANEOUSLY PRODUCING A MULTIPLICITY OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US3550262(A) 申请公布日期 1970.12.29
申请号 USD3550262 申请日期 1967.12.01
申请人 SIEMENS AG. 发明人 LOTHAR PUTTER;MANFRED RIERMEIER
分类号 H01L21/00;H01L21/48;H01L21/52;H01L21/60;H01L23/051;H01L23/31;(IPC1-7):B01J17/00;H01L1/14;H01L5/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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