| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING MONOMOLECULAR FILM HAVING DOMAIN STRUCTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04156977(A) |
申请公布日期 |
1992.05.29 |
| 申请号 |
JP19900278501 |
申请日期 |
1990.10.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
MURAYAMA TETSUO;YONEYAMA MITSURU |
| 分类号 |
B05D1/20;B32B9/00;C09K3/00;H01L31/10;H01L49/02;H01L51/05;H01L51/40 |
主分类号 |
B05D1/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
