| 发明名称 | 推挽式多输料机构自动加热器 | ||
| 摘要 | 推挽式多输料机构自动加热器是一种热处理设备，它适用于快速热处理过程。它具有一个加热室，而采用多个输料机构及与之配合的工件预热室、过渡室和工件放置机构，在控制计算机的控制下，对多个工件按推挽方式自动加热，充分利用加热室，提高工件(譬如：硅片)热处理的生产效率，节约电能，降低热处理成本。 | ||
| 申请公布号 | CN2105769U | 申请公布日期 | 1992.05.27 |
| 申请号 | CN91219930.X | 申请日期 | 1991.08.15 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 李迎春;朱善君 |
| 分类号 | H01L21/477 | 主分类号 | H01L21/477 |
| 代理机构 | 清华大学专利事务所 | 代理人 | 严文典 |
| 主权项 | 1、一种推挽式多输料自动加热器，包括：加热室A、预热室B、过渡室(区)C、工件放置区D、送料机构E和控制计算机F，其特征在于：送料机构E的数量多于一个，工件预热室B、过渡室(区)C、工件放置区D的数量与送料机构E的数量相配合，它们与同一加热室A通过开口连通，经控制计算机F控制各送料机构E推挽式地移动和停留，不同送料机构所载工件被分时地预热、加热及冷却。 | ||
| 地址 | 100084北京市海淀区清华园 | ||