发明名称
摘要
申请公布号 DE9116285(U1) 申请公布日期 1992.05.27
申请号 DE19910016285U 申请日期 1991.11.05
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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