LOW PRESSURE CVD SYSTEM,申请号JP19900280398-传众专利搜索

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发明名称	LOW PRESSURE CVD SYSTEM
摘要
申请公布号	JPH04154117(A)	申请公布日期	1992.05.27
申请号	JP19900280398	申请日期	1990.10.18
申请人	NEC CORP	发明人	KAIDO ATSUSHI
分类号	H01L21/205;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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