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发明名称 PRODUCTION OF TITANIUM NITRIDE TARGET MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH04154964(A) 申请公布日期 1992.05.27
申请号 JP19900277070 申请日期 1990.10.16
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 HIRAKI AKITOSHI;MATSUMOTO SHUNICHIRO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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