| 发明名称 |
COILING TYPE VACUUM VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04154968(A) |
申请公布日期 |
1992.05.27 |
| 申请号 |
JP19900276207 |
申请日期 |
1990.10.17 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD;AIHARA:KK |
发明人 |
ODA MINORU;KOIZUMI YOSHITERU |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/56;F25D17/02 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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