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发明名称 PRODUCTION OF FUNCTIONAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04154953(A) 申请公布日期 1992.05.27
申请号 JP19900273812 申请日期 1990.10.12
申请人 CANON INC 发明人 KOBAYASHI MASAYA
分类号 C23C14/02;G11B11/10;G11B11/105 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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