| 发明名称 |
METHOD OF RECLAIMING PROCESSED SEMICONDUCTIOR WAFERS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3559281(A) |
申请公布日期 |
1971.02.02 |
| 申请号 |
USD3559281 |
申请日期 |
1968.11.27 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC. |
发明人 |
BOBBY A. MAYBERRY;ALBERT E. OZIAS JR. |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/205;H01L21/30;(IPC1-7):B01J17/00;H01L7/12 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
