| 发明名称 |
REACTIVE ION MILLING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04154034(A) |
申请公布日期 |
1992.05.27 |
| 申请号 |
JP19900276279 |
申请日期 |
1990.10.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIYOSHI YASUO;SATO HIDEMI;FUKUSHIMA TAKAKO;KAWAMOTO KAZUTAMI;ITOU AKITOMO;OISHI SEITARO;HASHIMOTO ISAO |
| 分类号 |
H01J27/16;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/305 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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