| 摘要 |
L'invention concerne les cathodes pour pulvérisation sous vide. La cathode, suivant l'invention, comporte une structure creuse (2) pouvant tourner autour de son axe, et un circuit de confinement magnétique (3) disposé périphériquement autour de cette structure. La cathode, suiant l'invention, est particulièrement adaptée à une évacuation rapide de l'énergie thermique dégagée par le processus de pulvérisation, et notamment pour la pulvérisation de métaux à point de fusion bas.
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