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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04152518(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 JP19900277101 申请日期 1990.10.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MINAZU YASUMASA
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/268 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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