发明名称 MICRO-CHANNEL WAFER COOLING CHUCK
摘要
申请公布号 US5115858(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 US19910722891 申请日期 1991.06.28
申请人 DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION 发明人 FITCH, JOHN S.;HAMBURGEN, WILLIAM R.
分类号 G01R31/26;G01R1/04;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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