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经营范围
发明名称
MICRO-CHANNEL WAFER COOLING CHUCK
摘要
申请公布号
US5115858(A)
申请公布日期
1992.05.26
申请号
US19910722891
申请日期
1991.06.28
申请人
DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION
发明人
FITCH, JOHN S.;HAMBURGEN, WILLIAM R.
分类号
G01R31/26;G01R1/04;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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