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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH04152634(A)
申请公布日期
1992.05.26
申请号
JP19900278518
申请日期
1990.10.17
申请人
HITACHI LTD
发明人
NATORI YOSHITSUGU
分类号
H01L21/66;H01L21/321;H01L21/60
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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