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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04152629(A)
申请公布日期
1992.05.26
申请号
JP19900279855
申请日期
1990.10.17
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIGUCHI MITSUMASA
分类号
H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/41
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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