发明名称 INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURE BODY PROVIDED WITH SELF-INSPECTION FUNCTION; SORTING METHOD OF GOOD INTEGRATED CIRCUIT CHIP BY USING IT
摘要
申请公布号 JPH04152543(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 JP19900277465 申请日期 1990.10.16
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 NAKAGAWA HIROSHI;TAKADA SUSUMU;KUROSAWA ITARU;AOYANAGI MASAHIRO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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