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发明名称 DOPANT SOURCES FOR CMOS DEVICE
摘要
申请公布号 US5116778(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 US19900474614 申请日期 1990.02.05
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 HASKELL, JACOB D.;AVANZINO, STEVEN C.;SWAMINATHAN, BALAJI
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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