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发明名称 MINIATURE ACTUATOR PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH04152581(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 JP19900277087 申请日期 1990.10.16
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 KAWAI TAKASHI;RAN MUNEKI
分类号 H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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