发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04152560(A) 申请公布日期 1992.05.26
申请号 JP19900276715 申请日期 1990.10.16
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OSAWA MASARU
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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