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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF SAMPLE AND VACUUM TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04150937(A) 申请公布日期 1992.05.25
申请号 JP19900270405 申请日期 1990.10.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITO YOICHI
分类号 B01J3/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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