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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR ORGANIC METAL
摘要
申请公布号 JPH04151822(A) 申请公布日期 1992.05.25
申请号 JP19900276097 申请日期 1990.10.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIKAWA HIROCHIKA;KAWAHISA YASUTO;SASAKI MASAHIRO;MASHITA MASAO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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