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发明名称 METHOD FOR PLASMA START UP THRESHOLD DETECTION AT SOLID BODY SURFACE
摘要
申请公布号 SU1735744(A1) 申请公布日期 1992.05.23
申请号 SU19884441909 申请日期 1988.06.17
申请人 V NAUCHNYJ TSENTR "GOSUDARSTVENNYJ OPTICHESKIJ I IM.S.I.VAVILOVA" 发明人 KRUTYAKOVA VALENTINA P,SU;SMIRNOV VALENTIN N,SU
分类号 G01N21/00 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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