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发明名称 SLIDING TYPE DEVICE FOR LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH04149093(A) 申请公布日期 1992.05.22
申请号 JP19900269420 申请日期 1990.10.09
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KONISHI MASAYA
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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