SEMICONDUCTOR SUBSTRATE INSPECTING DEVICE,申请号JP19900274577-传众专利搜索

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发明名称	SEMICONDUCTOR SUBSTRATE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04150048(A)	申请公布日期	1992.05.22
申请号	JP19900274577	申请日期	1990.10.12
申请人	NEC CORP	发明人	YANASE SATOYUKI
分类号	H01L21/66	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
地址

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