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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04147620(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900271758 申请日期 1990.10.09
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 KIMURA MITSUHIKO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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