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发明名称 FORMATION METHOD OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH04148535(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900273791 申请日期 1990.10.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OGAWA SACHIKO;YAMAGUCHI ATSUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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