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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04147676(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900272562 申请日期 1990.10.11
申请人 NEC CORP 发明人 HAYAMA MASAHIDE
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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