| 发明名称 |
LONGITUDINAL HEAT-TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04147616(A) |
申请公布日期 |
1992.05.21 |
| 申请号 |
JP19900272685 |
申请日期 |
1990.10.11 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD |
发明人 |
ASANO TAKAYASU;ABE MASAHARU |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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