发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING MULTI-LAYERED FILM
摘要
申请公布号 JPH04147614(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900270481 申请日期 1990.10.11
申请人 CANON INC 发明人 TANAKA ICHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利