发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND MANUFACTURE OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPH04148569(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900273080 申请日期 1990.10.11
申请人 TOUYOKO KAGAKU KK 发明人 NAKAMURA TETSUO;ISHIDA MAKOTO;KAWAHITO SHOJI;HIKITA YASUJI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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