发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND MANUFACTURE OF THE SAME |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH04148569(A) |
申请公布日期 |
1992.05.21 |
申请号 |
JP19900273080 |
申请日期 |
1990.10.11 |
申请人 |
TOUYOKO KAGAKU KK |
发明人 |
NAKAMURA TETSUO;ISHIDA MAKOTO;KAWAHITO SHOJI;HIKITA YASUJI |
分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|