| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04147668(A) |
申请公布日期 |
1992.05.21 |
| 申请号 |
JP19900270394 |
申请日期 |
1990.10.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKAMOTO MITSUZO;OKABE TAKEAKI;YOSHIDA ISAO;MORIKAWA MASATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/74;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8249;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L21/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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