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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04147551(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900271772 申请日期 1990.10.09
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 NAKATANI KENJI
分类号 C23C14/48;H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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