发明名称 METHOD OF FIELD EFFECT TRANSISTOR FABRICATION FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0465045(A3) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19910305526 申请日期 1991.06.19
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 CHITTIPEDDI, SAILESH;COCHRAN, WILLIAM THOMAS;KELLY, MICHAEL JAMES
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/318 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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