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发明名称 APPARATUS FOR POLISHING SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 EP0216054(B1) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19860109817 申请日期 1986.07.17
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 CRONKHITE, PAUL W.;BOSLEY, BRUCE C.;JONES, JAMES H.;PATEL, ASIT G.
分类号 B24B37/04;B24B51/00;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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