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发明名称 PROCESS FOR DEPOSITING A DIFFERENT THIN FILM ON AN OXIDE SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 EP0466607(A3) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19910401953 申请日期 1991.07.12
申请人 SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 IIYAMA, MICHITOMO;SAITOH, MITSUCHIKA
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
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