发明名称 SOLDERLESS MBE SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0145285(B1) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19840307753 申请日期 1984.11.09
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 SHIH, HUNG-DAH;BENNETT, TOMMY JOE
分类号 H01L21/203;C30B23/02;H01L21/26;H01L21/677 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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