发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0474223(A3) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19910114959 申请日期 1991.09.04
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SATO, MITSUGU
分类号 H01J37/09;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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