ENHANCED VERTICAL THERMAL REACTOR SYSTEM.

摘要

L'invention se rapporte à un système de réacteur thermique vertical amélioré, qui est composé de trois chambres isolées, soit une chambre (12) de manipulation des plaques semi-conductrices, une chambres de traitement (14) contenant un élévateur et une chambre de refroidissement (16), scellées entre elles. Le scellement de ces chambres l'une par rapport à l'autre permet de réduire au minimum les retards de traitement associés au processus de refroidissement et au processus de chargement et de déchargement, ce qui améliore la productivité du four.