| 发明名称 |
ROTATING CUP TYPE CHEMICAL SOLUTION TREATMENT DEVICE IN SEMICONDUCTOR GROWTH PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04146615(A) |
申请公布日期 |
1992.05.20 |
| 申请号 |
JP19900271916 |
申请日期 |
1990.10.08 |
| 申请人 |
TATSUMO KK |
发明人 |
TOKIMITSU TERUMASA;YAMAMOTO MASAHARU;KOBATA HITOSHI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/316 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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