发明名称 METHOD FOR EVALUATING X-RAY OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04147046(A) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 JP19900269545 申请日期 1990.10.09
申请人 NATL INST FOR RES IN INORG MATER;RIGAKU CORP 发明人 YUKINO TAKESHI;KOBAYASHI YUJI
分类号 G01N23/20 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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